Suministro de un equipo de litografia óptica sin mascara, como parte de las LA1, A2 y A3, Convenio de Colaboracion entre el Gobierno de Aragon, Universidad de Zaragoza e ITAINNOVA para la ejecucion de lineas de actuación de I+D+i, financiado por la Union Europea NextGenerationEU/PRTR, en el marco de los planes complementarios previstos en el Plan de Recuperacion, Transformacion y Resilencia-MRR.

la adquisición de equipamiento para la preparación de micro y nano dispositivos que pueda dar servicio a las tres líneas de actuación del Plan Complementario de Materiales Avanzados: LA1.Grafeno y otros materiales bidimensionales LA2. Materiales para la Energía y LA3 Materiales inteligentes con funcionalidades avanzadas. El equipo objeto del contrato tiene aplicaciones en microelectrónica y semiconductores, espintrónica, MEMS, sensores, microfluídica, nanotecnología, grafeno y otros materiales 2D, entre otras¿, por lo que cubrirá esta necesidad. Este equipo de litografía óptica de altas prestaciones ofrece una gran versatilidad dado que se podrá usar tanto para fabricar máscaras como para prototipado sobre casi cualquier tipo de sustrato, fotomáscaras, semiconductores, vidrio, polímeros, cristales, películas flexibles, siendo capaz de definir motivos con tamaño inferior a 500 nanómetros. Finalmente, por su elevada versatilidad y flexibilidad se considera una herramienta muy útil para cumplir con el objetivo mencionado de establecer colaboraciones, crear sinergias, y alinear ejecución de fondos entre Comunidades Autónomas.